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小型CVD設(shè)備

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產(chǎn)品名稱: 小型CVD設(shè)備
產(chǎn)品型號: SFCV-1501
產(chǎn)品廠商: 巖瀨商事
產(chǎn)品品牌: PHIL佐藤
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

小型CVD設(shè)備  的詳細介紹

PHIL佐藤 小型CVD設(shè)備 SFCV-1501

管式爐型高溫熱化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)，適用于大學(xué)和研究機構(gòu)開發(fā)石墨烯等各種碳氫化合物材料。 該系統(tǒng)實現(xiàn)了小型化，因此可以通過簡單的操作生產(chǎn)小批量和小尺寸試件，同時還能顯著降低成本。
此外，該系統(tǒng)還配備了 5-100 Pa 的壓力控制功能，這在以往的小型系統(tǒng)中是很難實現(xiàn)的，從而使其能夠用于更多的加工模式。 該系統(tǒng)還配備了針對易燃碳氫化合物氣體的**裝置，如用于關(guān)閉設(shè)備的報警檢測系統(tǒng)和用于稀釋釋放到大氣中的氣體的氣體稀釋裝置。

主仕様

爐芯管 透明石英管（加熱溫度100～1000℃）
氧化鋁管（加熱溫度1000～1400℃）
反応ガス供給 2 - 60 sccm（氫氣、甲烷、乙烷、乙烯、乙炔、苯等）
壓力控制 5～100Pa
可燃性ガス大気放出対策 通過噴射器將空氣稀釋并排放到可燃混合范圍以下。

機器構(gòu)成

型式 SFCV-1001 SFCV-1003 SFCV-1501
管狀爐 爐芯管 材質(zhì) 透明石英管 アルミナ管
內(nèi)徑 φ24mm、φ50mm φ24mm
加熱溫度 常用 100～1000℃ 500～1400℃
Max 1150℃ 1500℃
加熱域 1 區(qū)  3 區(qū) 1 區(qū) 
加熱器功率  1.0kW 2.4kW 1.2kW
真空排気 油旋式真空泵 排気速度：100～150L/min
氣體供應(yīng) 質(zhì)量流量控制器  流量：10～100sccm
氣體管式流量計
氣體稀釋 空氣噴射器  空氣流量：15Nl/min
真空計 圧力制御 電容壓力計：0.133 至 1330 帕，100 帕至 133 千帕
大気復(fù)圧  數(shù)字耦合計：-100kPa～+100kPa
制御 溫度制御 程序控制
圧力制御  閥門開/關(guān)控制
操作パネル 每個設(shè)備的開關(guān)、程序溫度控制器、真空計
指示器：溫度、真空、操作設(shè)備開/關(guān)、警報、電源
電源 単相 100V?30A 100V?50A 200V?20A
外形寸法 Ｗ×Ｄ×Ｈ 1450×500×1200mm
質(zhì)量 125kg 134kg 128kg
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