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研發(fā)用輥涂機(jī)

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產(chǎn)品名稱: 研發(fā)用輥涂機(jī)
產(chǎn)品型號: SRC-100V
產(chǎn)品廠商: 巖瀨商事
產(chǎn)品品牌: PHIL佐藤
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

研發(fā)用輥涂機(jī)  的詳細(xì)介紹

PHIL佐藤 研發(fā)用輥涂機(jī) SRC-100V

適用于研發(fā)和小批量生產(chǎn)的緊湊型高性能輥涂機(jī)。 可提供等離子處理、濺射和沉積裝置。

主仕様

到達(dá)圧力 ×10?5 Pa
真空計(jì)  BA 真空計(jì)、電容式壓力計(jì)
工作尺寸  W100mm×L200ｍ×t 50～100um
進(jìn)料速度  0.2～4m/min (CW/CCW 可能)
真空槽 SUS304 ?。?00×Ｈ850×Ｄ450㎜
滾動錐 φ250　水冷式
軸向密封  使用磁性密封
沉積前等離子處理 13.56ＭＨｚ ＲＦ電極　×１式
蒸発源 (1) 70 x 200 直流磁控管型 x *多 2 套
(ii) 電阻蒸發(fā)源
主ポンプ ＴＭＰ　1100L/s
水分排気 ＣＲＹＯスーパートラップ
工藝氣體 Ar , O2 , N2 , マスフローコントローラ使用
床面積 4㎡
水電 ?AC200V 3φ 100A 　　?冷卻水


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