平面密封式高壓大流量壓力調(diào)節(jié)器
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產(chǎn)品名稱:
平面密封式高壓大流量壓力調(diào)節(jié)器
產(chǎn)品型號:
L61SS
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品品牌:
YUTAKA
產(chǎn)品文檔:
無相關(guān)文檔
簡單介紹
L61SS壓力調(diào)節(jié)器是專為高壓大流量半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)氣體而設(shè)計，調(diào)節(jié)閥結(jié)構(gòu)為平密封，保證大流量小行程。
平面密封式高壓大流量壓力調(diào)節(jié)器
的詳細(xì)介紹
YUTAKA-壓力調(diào)節(jié)器-L61SS
平面密封散裝氣體結(jié)構(gòu)，兼容其他氣體。
產(chǎn)品規(guī)格：
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進(jìn)氣壓力
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14.8MPa以下(*大19.6MPa)
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調(diào)節(jié)壓力
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Max：0.8MPa（量程規(guī)格：0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.8MPa）
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原始壓力波動
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進(jìn)氣壓力：0.01MPa ，調(diào)節(jié)壓力變化0.0006MPa
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耐壓壓力
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22.2MPa（入口側(cè)）
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CV值
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0.07
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工作溫度
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-10~+40℃
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外部泄漏
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1×10-11Pa?m3/sec?He（真空法）
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內(nèi)部容積
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32.3cm（不包括 3 個壓力表和配件）
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質(zhì)量
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約4.7kg
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經(jīng)營范圍：
MRM、YUTAKA壓力調(diào)節(jié)閥、SHOWA SOKKI昭和測器、IMAO今尾、SHINNETSU新熱、ATAGO愛拓等
日本YUTAKA,原裝進(jìn)口，價格*優(yōu)、質(zhì)量保證！