濺射工藝
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產(chǎn)品名稱:
濺射工藝
產(chǎn)品型號(hào):
CGM2-051
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品品牌:
ULVAC
產(chǎn)品文檔:
無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
ULVAC 濺射工藝 CGM2-051
新型工藝氣體分析儀(RGA)，實(shí)現(xiàn)了高壓下(1Pa以下)的高精度、高分辨率以及革/命性的簡(jiǎn)單易操作性。來(lái)自不同生產(chǎn)線的設(shè)備工程師的反饋被納入產(chǎn)品的設(shè)計(jì)中，*適合濺射設(shè)備的工藝管理（提高品質(zhì)、提高良率）
濺射工藝
的詳細(xì)介紹
ULVAC 濺射工藝 CGM2-051
特點(diǎn)
適用于各種濺射系統(tǒng)的工藝監(jiān)控
Air Leak監(jiān)控
殘留水分管理
無(wú)需差動(dòng)排氣系統(tǒng)（less than 1 Pa at 7.5 x 10-3Torr/1 x 10-2 mbar）
內(nèi)置顯示屏：無(wú)需PC可單獨(dú)操作使用
可進(jìn)行高靈敏度泄漏測(cè)試（CGM2-052）
可進(jìn)行全壓測(cè)定
操作簡(jiǎn)單-One Click功能
標(biāo)配Qulee QCS軟件
支持CE標(biāo)準(zhǔn)
用途
適用于濺射設(shè)備的殘余氣體分析、工藝監(jiān)控和雜質(zhì)管理(H2O)。
用于濺射設(shè)備的泄漏測(cè)試。
規(guī)格
分解能
M/△M=1M(10% P.H.)