高精度氣體混合設(shè)備
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產(chǎn)品名稱(chēng):
高精度氣體混合設(shè)備
產(chǎn)品型號(hào):
BMF-1000
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品品牌:
YUTAKA
產(chǎn)品文檔:
無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
BMF系列是一種氣體混合系統(tǒng),可以產(chǎn)生新的氣體,采用質(zhì)量流量控制器設(shè)計(jì),以滿(mǎn)足高純度、高精度和自動(dòng)化的需求。
高精度氣體混合設(shè)備
的詳細(xì)介紹
YUTAKA-高精度氣體混合設(shè)備-BMF-1000
產(chǎn)品規(guī)格:
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型號(hào)
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BMF-1000
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適用氣體
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Ar、CO2、O2、N2、H2、He
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進(jìn)氣壓力
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0.7~0.99MPa
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混合壓力
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0~0.65MPa
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出口壓力
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0.45MPa(<>.<>兆帕)
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入口和出口之間所需的壓差
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0.25MPa(<>.<>兆帕)
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混合氣體流量
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1000L/min
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罐壓控制壓力
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0.5~0.6MPa可變
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油箱容量
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600L
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流量精度
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滿(mǎn)量程小于 1%(通過(guò) MFM、MFC)
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混合精度
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混合比例小于10%
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±0.5%
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混合比例10%以上
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±1%
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電源
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AC100V(50/60Hz)
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質(zhì)量
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500kg
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尺寸
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寬2380mm×高2070mm×深1100mm
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經(jīng)營(yíng)范圍:
MRM、YUTAKA壓力調(diào)節(jié)閥、SHOWA SOKKI昭和測(cè)器、IMAO今尾、SHINNETSU新熱、ATAGO愛(ài)拓等
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